离子刻蚀造句怎么写

8、对于光刻胶的去除用热**泡、超声清洗、反应离子刻蚀和高温灰化法相结合，能达到较好的效果。

10、本文中的微执行器采用深层反应离子刻蚀技术在硅隔离衬底硅片上制作。

12、公司生产的300mmPrimoD-RIE系统（去耦反应离子刻蚀）基于双工作站，小批量造型集群（mini-batchcluster，mini-batch指每批生产的晶圆不超过十片）架构，为单芯片生产系统，装备甚高频去耦反应离子刻蚀源。

14、我们同时对反应离子刻蚀工艺中的等离子体充电效应和离子轰击对氧化硅造成的损伤进行了讨论。

16、采用反应离子刻蚀，各向异*化学腐蚀及自限制热氧化过程在soi衬底上制备出高质量的超精细硅量子线。

18、采用微波电子回旋共振等离子体反应离子刻蚀（E CR-R IE）装置对牦牛毛纤维进行表面改*，从而改善牦牛毛的可纺*。

1、利用离子束刻蚀(IBE)和反应离子刻蚀(RIE)等干法刻蚀方法来制造带栅极的场发**极阵列。

3、对二氧化硅反应离子刻蚀中反应室压力，刻蚀气体流量和*频功率等因素对刻蚀速率和刻蚀均匀*的影响进行了研究。

5、给出了加速度计的制作工艺流程，研究了解决深反应离子刻蚀过程中的过刻蚀现象的方法。

7、衍*光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写、反应离子刻蚀、离子束铣及薄膜沉积。

11、本文采用X光电子能谱加氩离子刻蚀法，测出三种分散剂在煤表面吸附膜的近似厚度。

15、利用并行直写技术与感应耦合等离子刻蚀技术制作了部分二元光学元件。

19、本文作者认为等离子体轰击高聚物表面引起的局部高温是离子刻蚀后试样表面出现伪迹的重要原因。

4、通过深紫外光刻和感应耦合等离子刻蚀设备，制备了所设计的器件。

9、通过反应离子刻蚀可以将光刻胶微透镜图形转移至这种高*能的聚合物材料上。

17、新兴的3d互联技术以及高产量的MEMS应用需要成本低廉以及高产量的深层反应离子刻蚀系统。

6、加速度计用普通的N型硅片制造，为了刻蚀高深宽比的结构，使用了深反应离子刻蚀（DRIE）工艺。

2、并且详细论述离子刻蚀的原理以及离子源的参数设计。

13、采用经过参数优化的DRIE刻蚀深硅槽，并用反应离子刻蚀(RIE)对深槽开口形状进行修正，制造了具有理想侧壁形状的深槽，利于介质的完全填充，避免产生空洞。