极紫外光刻造句怎么写

本文探讨了一种可应用于极紫外光刻光学系统的离轴五反*镜系统，它在光学质量、自由工作距离方面满足了极紫外光刻商业化的要求。

目前，基于极紫外多层膜的反*式光学元件，已经全面进入了以极紫外光刻与极紫外天文观测为核心的实用化阶段。

由于材料的吸收和低折*率问题，极紫外光刻所采用的光学系统发展趋势是全反*型。