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关于3NF3的百科

三*化氮(NF3)是微电子工业中一种优良的等离子体,NF3能与水发生反应:3NF3+5H2O===2NO+HN...
三*化氮(NF3)是微电子工业中优良的等离子刻蚀气体,它在潮湿的环境中能发生反应:3NF3+5H2O===2N...
三*化氮(NF3)是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体。它无*、无臭,在潮湿的空气中能发生下列反应:3NF3...