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關於SiHCl3的百科

實驗室用H2還原SiHCl3(沸點:31.85℃)製備純矽的裝置如圖所示(夾持裝置和尾氣處理裝置略去),下列說...
三**矽(SiHCl3)是製備矽*、多晶矽的重要原料。回答下列問題:(1)SiHCl3在常溫常壓下為易揮發的無...
製備矽半導體材料必須先得到高純矽。三**矽*(SiHCl3)還原法是當前製備高純矽的主要方法,生產過程示意圖如...
工業上可用粗矽(含鐵、鋁、硼、*等雜質)與乾燥的HCl氣體反應制得SiHCl3,:Si+3HCl=SiHCl3...
製造太陽能電池需要高純度的矽,工業上制高純矽常用以下反應實現①Si(固)+3HCl(氣)SiHCl3(氣)+H...